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        S540功率半導體測試系統
        作者:admin    來(lái)源:原創(chuàng )    發(fā)布日期:2020-4-10 9:40:28   點(diǎn)擊次數:1749

        S540 是一種全自動(dòng)晶圓級參數測試系統,可以在一次探頭接觸中執行高達3kV 的所有高壓測試、低壓測試、低電流測試和電容測試,提高生產(chǎn)效率,降低擁有成本。該系統把吉時(shí)利測量?jì)x器與低壓和高壓開(kāi)關(guān)矩陣、線(xiàn)纜、探頭卡適配器、探頭驅動(dòng)器和KTE 測試軟件安全無(wú)縫地集成在一起。最終結果,是可以量身定制12~48 針參數測試系統,而不需要重新配置測試設置,在從高壓測試轉向低壓 測試時(shí)不用使用兩個(gè)單獨的測試系統,實(shí)現全自動(dòng)2 端子或3 端子晶體管電容測量,提供pA 級測量性能。

         

        主要特點(diǎn):

        • 在一次探頭接觸中,在最多48針上自動(dòng)執行所有晶圓級參數測試,包括高壓擊穿、電容和低壓測量,而不需改變電纜或探頭卡基礎設施
        • 執行晶體管電容測量,如 Ciss、Coss 和 Crss,高達 3 kV,而不需手動(dòng)重新配置測試針
        • 在高速多針、全自動(dòng)測試環(huán)境中實(shí)現低電平測量性能
        • 基于 Linux 的 KTE ( 吉時(shí)利測試環(huán)境 ) 系統軟件,簡(jiǎn)便地開(kāi)發(fā)測試,快速執行測試
        • 特別適合工藝集成、工藝控制監測和生產(chǎn)芯片分揀等全自動(dòng) 應用或半自動(dòng)應用
        • 縮短測試時(shí)間及測試設置時(shí)間,減少占用空間, 降低擁有成本,同時(shí)實(shí)現實(shí)驗室級測量性能

        全面進(jìn)行高達3 kV 的一遍參數測試

        S540 是為用于擁有各種產(chǎn)品組合的環(huán)境而優(yōu)化的,可以配置為12 針、24 針、36 針或48 針系統。有兩種主要配置:基本高壓配置有12 針,高電壓/ 低電流配置則有12 針高電壓和36 針低電流。這兩種配置都支持多條SMU ( 源測量單元) 通道、兩端子和三端子電容測量、差分電壓測量以及脈沖和頻率測量。所有測試引腳都連接到一張探頭卡上,因此可以在一個(gè)探頭接觸中執行所有測試,提高生產(chǎn)效率,降低擁有成本。

         

        高達3 kV 的全自動(dòng)兩端子和三端子電容測量

        除在全自動(dòng)生產(chǎn)應用中執行的典型2 端子電容測量外,S540 還可以執行半自動(dòng)研發(fā)應用和工藝集成應用中常見(jiàn)的3 端子晶體管電容測量?梢栽诟哌_3 kV 的偏置電壓及高達1 MHz 的頻率上執行測試。S540 自動(dòng)執行這些3 端子測量,如Ciss、 Coss 和Crss,而不需手動(dòng)配置測試針。這可以更迅速地收集更多的器件數據,加快測試速度,最終加快產(chǎn)品開(kāi)發(fā)周期。

        由于普通電容儀表的內置偏置電壓低于100 V,因此測量高壓功率半導體的電容要求使用外部電壓源和Bias-T。與其他高壓參數測量解決方案不同,S540 使用系統級開(kāi)路- 短路- 負載補償技術(shù),確保Bias-T 不會(huì )在測量中注入錯誤,并能夠在全自動(dòng)生產(chǎn)環(huán)境中實(shí)現實(shí)驗室質(zhì)量的電容測量。

        S540 可以執行全自動(dòng)實(shí)驗室質(zhì)量的三端子電容測量

         

        強大的系統軟件

        吉時(shí)利S540 系統擁有吉時(shí)利測試環(huán)境(KTE) v5.7 軟件,用于測試開(kāi)發(fā)和執行。KTE v5.7 的系統級速度較KTE v5.5 最多提高了40%。KTE 裝在采用Linux 操作系統的標準工控PC 上,把吉時(shí)利數十年的參數測試經(jīng)驗融入到功能中。

        KTE 軟件可以簡(jiǎn)便地編寫(xiě)、轉換或重用測量例程和測試計劃,幫助您更快地啟動(dòng)和運行系統。

         

        S540 軟件包括所有關(guān)鍵系統軟件操作:

         

        • 晶圓描述
        • 測試宏程序開(kāi)發(fā)
        • 測試計劃開(kāi)發(fā)
        • 極限
        • 晶圓級或組件級測試,支持自動(dòng)探頭控制
        • 測試數據管理
        • 用戶(hù)接入點(diǎn)
        • 系統診斷

        3 kV 探頭卡和探頭卡適配器(PCA) 解決方案

        在多針全自動(dòng)生產(chǎn)測試應用中進(jìn)行可靠的高壓測量帶來(lái)了許多挑戰,包括環(huán)境、器件布線(xiàn)和探頭設計。吉時(shí)利為探測最高 3k V 電壓、同時(shí)保持低電平測量性能提供了兩種優(yōu)質(zhì)解決方案: 吉時(shí)利9140 和Celadon 45E。此外,為簡(jiǎn)化探頭卡安裝和拆卸, 我們作為出廠(chǎng)安裝選項提供了inTEST 頂部裝載探頭卡接口。




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