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        當前位置: 首頁(yè) > 半導體測試系統詳細信息
        4200A-SCS參數分析儀
        作者:admin    來(lái)源:原創(chuàng )    發(fā)布日期:2014-8-8 17:21:19   點(diǎn)擊次數:1872

        4200A-SCS 是一種可以量身定制、全面集成的參數分析儀,可以同步查看電流電壓(I-V)、電容電壓(C-V) 和超快速脈沖式I-V 特性。作為參數分析儀,4200A-SCS 加快了半導體、材料和工藝開(kāi)發(fā)速度。

        4200A-SCS ClariusTM 基于GUI 的軟件提供了清楚的、不折不扣的測量和分析功能。憑借嵌入式測量專(zhuān)業(yè)知識和數百項隨時(shí)可以投入使用的應用測試,Clarius Software 可以更深入地挖掘研究過(guò)程,快速而又滿(mǎn)懷信心。

        4200A-SCS 參數分析儀可以根據不同用戶(hù)需求進(jìn)行靈活配置,不管是現在還是未來(lái),都可以隨時(shí)對系統進(jìn)行升級。

         

        主要性能指標

        I-V 源測量單元(SMU)

        • ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模塊
        • 100 fA測量分辨率
        • 選配前端放大器提供了 10 aA測量分辨率
        • 10 mHz - 10 Hz 超低頻率電容測量
        • 四象限操作
        • 2 線(xiàn)或 4 線(xiàn)連接

        C-V 多頻率電容單元(CVU)

        • AC 阻抗測量 (C-V, C-f, C-t)
        • 1 kHz - 10 MHz 頻率范圍
        • ± 30 V (60 V差分)內置DC偏置源,可以擴展到± 210 V(420 V 差分)
        • 選配 CVIV 多通道開(kāi)關(guān),在 I-V 測量和 C-V 測量之間簡(jiǎn)便切換脈沖式I-V 超快速脈沖測量單元(PMU)
        • 兩個(gè)獨立的或同步的高速脈沖 I-V 源和測量通道
        • 200 MSa/s,5 ns 采樣率
        • ±40 V (80 V p-p),±800 mA
        • 瞬態(tài)波形捕獲模式
        • 任意波形發(fā)生器 Segment ARB® 模式,支持多電平脈沖波形,10 ns 可編程分辨率

        高壓脈沖發(fā)生器單元(PGU)

        • 兩個(gè)高速脈沖電壓源通道
        • ±40 V (80 V p-p),± 800 mA
        • 任意波形發(fā)生器 Segment ARB®模式,支持多電平脈沖波形,10 ns 可編程分辨率I-V/C-V 多通道開(kāi)關(guān)模塊 (CVIV)
        • 在 I-V測量和 C-V 測量之間簡(jiǎn)便切換,無(wú)需重新布線(xiàn)或抬起探針
        • 把 C-V測量移動(dòng)到任意端子,無(wú)需重新布線(xiàn)或抬起探針遠程前端放大器/ 開(kāi)關(guān)模塊(RPM)
        • 在 I-V 測量、C-V 測量和超快速脈沖 I-V 測量之間自動(dòng)切換
        • 把 4225-PMU的電流靈敏度擴展到數十皮安
        • 降低電纜電容效應

         標配附件

        4200A-SCS
        參數分析儀主機
        1 條236-ILC-3 互鎖電纜, 3 米(10 英尺)
        2 條4200-TRX-2 超低噪聲三軸電纜,2 米(6.6 英尺)。
        4200-SMU
        中等功率源測量單元, 適用于4200A-SCS, 100 mA ~ 100 fA, 200 V ~ 0.2mV, 2 W
        如果配置一個(gè)前端放大器:
        4200-PA 標配所有電纜。參見(jiàn)下面的4200-PA。
        如果沒(méi)有配置前端放大器:
        2 條4200-MTRX-2 迷你超低噪聲三軸電纜,2 米(6.6 英尺)。
        4210-SMU
        高功率源測量單元,用于4200A-SCS,1 A ~ 100 fA,200 V ~ 0.2 μV,20 W
        如果配置一個(gè)前端放大器:
        4200-PA 標配所有電纜。參見(jiàn)下面的4200-PA。
        如果沒(méi)有配置前端放大器:
        2 條4200-MTRX-2 迷你超低噪聲三軸電纜,2 米(6.6 英尺)。
        4200-PA
        遠程前端放大器選項,用于4200-SMU 和4210-SMU,把SMU 擴展到0.1 fA 分辨率
        1 條4200-RPC 遠程前端放大器電纜,2 米(6.6 英尺)
        2 條4200-TRX-2 超低噪聲三軸電纜,2 米(6.6 英尺)
        4210-CVU
        電容- 電壓(C-V) 模塊4 根CA-447A SMA 電纜, 公頭到母頭, 100W, 1.5m (5 英尺) • 4 個(gè)CS-1247 母頭SMA 到公頭BNC 適配器
        2 個(gè)CS-701 BNC T 型適配器• 1 個(gè)TL-24 SMA 扭矩扳手
        4225-PMU
        超快速脈沖測量單元4 根SMA 到SMA 50W 電纜, 2m (6.6 英尺)
        2 個(gè)SMA 到SSMC Y 電纜組件, 6 英寸
        4225-RPM
        遠程預放/ 開(kāi)關(guān)模塊1 根SMA 到SMA 50W 電纜, 20cm (7.9 英寸)
        1 個(gè)三同軸到BNC 適配器
        1 個(gè)BNC 到SMA 適配器
        1 條RPM 電纜, 2.1m (6.9 英尺)
        4220-PGU
        高電壓脈沖發(fā)生器(4) SMA 到SMA 50W 電纜, 2m (6.6 英尺)
        (2) SMA 到SSMC Y- 電纜組件, 6 英寸
        4200A-CVIV
        I-V,C-V 多功能開(kāi)關(guān)模塊2 個(gè)4200A-CVIV-SPT SMU 直傳模塊
        2 個(gè)214543500 插槽封堵模塊
        1 條174691500 USB 電纜
        注:對通過(guò)4200A-CVIV 連接的每個(gè)SMU,都要求一個(gè)或4200A-CVIV-SPT 或一個(gè)4200-PA。


        技術(shù)資料下載
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